沈陽高新區企業拓荊科技今日科創板上市 打造半導體制造設備領軍企業
來源：高新院 achie.org 日期：2022-04-20 點擊：次
4月20日，拓荊科技股份有限公司（以下簡稱“拓荊科技”）首次公開發行股票并在上海證券交易所科創板上市。拓荊科技成為繼芯源微電子、成大生物后，沈陽市第三家科創板上市公司，也是繼何氏眼科之后，沈陽市今年第二家上市公司。
拓荊科技成立于2010年，主要從事高端半導體專用設備的研發、生產、銷售和技術服務。公司聚焦的半導體薄膜沉積設備與光刻機、刻蝕機共同構成芯片制造三大主設備。公司主要產品包括等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）設備、原子層沉積（ALD）設備和次常壓化學氣相沉積（SACVD）設備3個產品系列，是國內唯一一家產業化應用的集成電路PECVD、SACVD設備廠商，也是國內主要的量產型ALD設備供應商。
拓荊科技是國內半導體設備行業重要的領軍企業之一，3次獲得中國半導體行業協會頒發的“中國半導體設備五強企業”稱號，產品已成功應用于中芯國際、華虹集團、長江存儲、長鑫存儲、廈門聯芯、燕東微電子等行業領先集成電路制造企業生產線，產品技術參數已達到國際同類設備水平，并已展開10nm（納米）及以下制程產品驗證測試。據悉，拓荊科技將借登陸科創板重要契機，進一步提升科技研發能力，提高產品性能和技術水平，不斷做強主業，將公司打造成半導體制造薄膜沉積設備領軍企業。
